電離真空計IRG080型它的原理是什么？-INFICON英福康

電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。

由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。

電離真空計IRG080型原理

在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比。電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。

按照離子產生的方法不同，利用熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規管和測 量儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空系統相通。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵極和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極 電正電位。當電離規管通電加熱后，陰極發射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰撞而產生正離子和電子的電離現象。當發射電流一定時，正離子數目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

熱陰極電離真空計規管類似一支三極管，如圖a所示，由筒狀板極(離子收集極)C，柵極網G和位于柵極網中心的陰極燈絲F構成，筒狀板極在陽極柵網外面。

圖b是其外控電路，柵極電位在+100~+300V之間，板極的電位在0~-50V之間。陰極燈絲F通電發熱后便發射電子，由于陽極柵網G為正電壓，發射出的電子被加速，電子與內部的氣體分子相碰，使氣體分子發生電離，氣體壓強大，氣體的密度就大，碰撞機會越多，產生的正離子也越多。正離子在筒狀板極負電壓的作用下，吸引正離子形成板極電流，氣體分子密度越大(即壓強越大)，板極電流也越大，反之就小。在測量范圍內板極電流與被測壓強成正比。

真空系統暴露大氣后，電離規玻璃泡和電極表面會吸附很多氣體，在真空環境下，氣體又被釋放出來，影響測覺精度。為消除這種影響，在測量前必須對規管進行除氣。電離規管除氣采用烘烤方法，即給燈絲和柵極可分別通電加熱，板極則采用高頻感應加熱或電子轟擊，使氣體在測量前被釋放出來。一般電離真空計都具有除氣功能，當真空度大于1×10^-2Pa時，按說明書要求對電離規管進行除氣 。

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